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ANSI/ESD S20.20标准要求

time发布时间:2020-08-13 15:31
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一、管理要求
人员培训计划   
1、所有处置和接触ESD敏感器件的人员均要参加入职前和定期的ESD培训;
2、培训内容包括ESD基础知识和相关工位的防护要求;
3、培训的方式、频率、记录和记录存放的场所需在人员培训计划中明文规定;
4、培训的效果要有明确的判定方法。

ESD控制物品导入计划    
1、ESD控制物品需要符合ESD防护体系的整体要求;
2、测量规范和技术指标需要满足S20.20的标准;
3、物品导入通常在选购初期阶段进行, 可通过审核产品规格书、第三方实验室的评估报告或内部实验室评估来完成;
4、对于已经投入使用的物品,可以根据符合性验证数据分析其符合性

ESD符合性验证计划
1、ESD符合性验证的目的是验证已建立的ESD防护体系的持续符合性;
2、验证工作是确认相关测量项目,技术指标和测试频率符合本计划的规定;
3、需明确测量规范及有效测试设备;
4、记录是体系符合技术要求的依据
 
二、技术要求
接地/等电位连接系统
为了确保ESDS 物品和可能与ESDS 物品接触的操作人员及导体(如:推车)处于等电位水平,要求这些物品必须接地或等电位连接。

EPA(ESD防护区)
所有涉及未使用防护包装的ESDS 物品、部件、组件和设备的操作都必须在明显区域划分的EPA内执行。
1、人员:只有完成了ESD 管控体系规定培训的人员,才能进入EPA 作业。未完成培训的个人进入EPA 时必须有完成培训的人员陪同。
2、构成:EPA 可由一个单独的工作台、整个房间、整栋建筑或其它规划的区域构成。
3、绝缘材料:①、所有非必用的绝缘材料,如咖啡杯、食品包装和个人物品应从EPA 移出。
                     ②、体系应对如何缓解制程中必用的绝缘材料可能引起的静电电场感应导致破坏的方法给予说明。
4、孤立导体:如果一个与ESDS物品接触的导体材料不能有效与接地或等电位连接系统连接时,则需保证该导体和ESDS 物品之间的电位差小于35伏。
 
防护包装
执行单位需根据ANSI/ESD S541 标准,或遵循客户合同、订单、图纸或其它指定文件,对EPA内和EPA外的防护包装明确具体要求。
 
标识
ESDS 物品、组件或防护包装的标识应符合客户合同、订单、图纸或其它指定文件规定的要求。